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矩形闸阀Multi-Rollcam Slit Valve

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矩形闸阀Multi-Rollcam Slit Valve

· 应对更高制程半导体工艺
· 超低真空，超低发尘
· 密封材质、表面处理、使用温度等都可定制

类型：	传输阀
材质：	铝合金
尺寸：	336x50 可定制
漏率：	1.3E-10 Pa·m3/s
使用温度：	阀框/阀板：≤90°C
操作压力：	0.5~0.6MPa
寿命：	300万次

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