矩形闸阀 Rollcam Slit Valve
· 真空内无滑动构造 真空内不使用润滑剂，无发尘
· 任意开口尺寸、安装规格 可实现比半导体200mm~300mm尺寸更大或更小的要求
· 可选的耐压规格 无论正压还是逆压，都有最合适的驱动单元
· 材质、表面处理、使用温度等都可定制
| 类型： |
传输阀
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| 材质： |
铝合金/不锈钢
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| 尺寸： |
236x46 可定制
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| 漏率： |
1.3E-10 Pa·m3/s
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| 使用温度： |
≤90°C（驱动部≤60°C）
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| 操作压力： |
0.5~0.6MPa
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| 寿命： |
100万次/300万次
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